一、仪器用途
TGB-500 透反射式硅片检测显微镜主要用于太阳能电池硅片的观察.它能生产高清晰的图像,立体感较强,成像较清晰和宽阔,又具有长工作距离,并具有较大的视场范围和相应的放大倍数,配有高像素的数码摄像头,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析服务.是太阳能电池硅片的普遍专用显微镜。
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产企业进行质量控制最普通的仪器.更多型号,请参看我们的网站!上海团结仪器制造厂021-68553288 www.tjmade.com
二、技术参数
1.目镜
类型 放大倍数 视场(mm)
大视野目镜 10X Φ22
2.物镜
类别 放大倍数 数值孔径(NA) 工作距离(mm)
明暗场无穷远长距平场消色差物镜 5X 0.12 9.7
10X 0.25 9.3
20X 0.40 7.2
40X 0.60 3.7
3.光学放大倍数:50X 100X 200X 400X
4.三目镜,倾斜30?,(内置检偏振片,可进行切换)
5.双层机械移动式(尺寸:210mmX140mm,移动范围:75mmX50mm)
6.粗微动同轴调焦, 微动格值:2μm,带锁紧和限位装置
7.照明系统:落射 6V 20W 卤素灯,亮度可调,带视场光栏、孔径光栏、起偏振片,
透射 6V 20W 卤素灯,亮度可调,内置视场光栏, 蓝滤色片和磨砂玻璃
8.阿贝聚光镜NA.1.25可上下升降
9.防霉:特有的防霉系统,
10.成像系统:高像素的CCD摄像头
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三、系统组成
(TGB-500):1.硅片显微微 2.适配镜 3.CCD摄像器 4.A/D图像采集卡
四、总放大参考倍数
TGB-500:50--2000倍
五、选购件
1.图像测量软件 2.目镜: 20X 10X(带刻度) 3.物镜:50X 60X 80X 100X更多型号,请参看我们的网站!上海团结仪器制造厂021-68553288 www.tjmade.com |
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