晶圆超纯水设备价格_系统价格哪家好 企业在生产过程中,很多行业对水质的要求比较高,普通的水源无法满足企业的生产需求。超纯水设备具有出水水质高、可不间断产水、自动化控制、无污水排放等特性,深受生产企业的喜爱。
晶圆用超纯水设备树脂再生工艺
树脂在使用一段时间后,吸附的杂质接近饱和状态,就要进行再生处理,使之恢复原来的组成和性能。目前国内树脂的再生常用化学药剂酸碱法使失效的树脂恢复交换能力,酸的使用通常采用HCl或H2SO4,调配浓度为3-5%左右,碱的使用一般采用NaOH,调配浓度为3-5%左右。
一、反洗分层:
反洗流速10米/时,反洗时间15分钟,以沉降后阳,阴树脂层界面是否清晰判别分层效果。
二、进再生液:
用20分钟左右的时间泵完所需的再生液,浸泡2-3个小时后采用正洗的方法,阴树脂冲洗至出水碱度PH=8-9左右,阳树脂冲洗至出水酸度PH=5-6左右。
三、混合:
从底部进入氮气(也可用压缩空气,真空抽气等)进行混合,进气压0.1~0.15MPa,进气量2.5~3.0米3/(米2•分),混合时间一般为5~10分钟,以柱内树脂充分混合为终点。
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