测试项目：有机物分析
所用仪器：傅立叶红外光谱仪、GC-MS
测试范围：反映材料的化学键信息，特别是有机物的官能团鉴定，液体的成分分析
主要性能指标：
• 光谱范围：7,500~375cm-1
• 红外分辨率：优于0.09cm-1
• 信噪比：45,000:1
测试项目：表面成分及化学态分析
所用仪器：X射线光电子能谱仪+俄歇能谱仪 (XPS)
测试范围：各种固体表面的元素成分、化学价态、分子结构分析和深度剖析
主要技术指标：
• XPS灵敏度：16,000,000 cps
• XPS能量分辨率：<0.48eV
• XPS*小分析面积：30μm
• AES灵敏度：500,000 cps
• AES能量分辨率：<0.4 dE/E
测试项目：样品成分分析
所用仪器：扫描电子显微镜+X射线能谱仪 (SEM+EDS)
测试范围：各种固体材料的形貌分析、微区化学成分检测，样品成份的线分布和面分布分析
主要性能指标：
• 分辨率：高真空模式3.0nm, 低真空模式4.0nm
• 放大率：×8～×300000
• *大样品尺寸：125×100×80mm
• 能谱能量分辨率：129.45eV
• 可测元素范围：铍Be~锿Es
测试项目：微量元素成分分析
使用仪器：二次离子质谱仪
英国MILLBROOK MiniSIMS MC300 MK II
测试范围及服务项目：检测特殊元素在表面的聚集，表面改性，等离子表面处理
主要性能指标：
• 质量分辨率：全质量范围分辨率m/dm>100
• 灵敏度：>5000cps/nA 98Mo++98MoO+
• 分析区域：分散离子束 固定范围直径为2.7+/-0.3mm
• 元素范围：3—300质量数
测试项目：样品相结构、表面应力分析
所用仪器：X 射线衍射仪
测试范围：粉末样品、固体样品的物相分析、微量相分析、薄膜分析、高温衍射、应力测量、晶粒度、晶胞参数等的测定
主要技术指标：
• 超高频电压发生器，高压稳定度：0.005%
• 转动方式：θ/θ模式和2θ模式
• 角度重现性：+/- 0.0001 度
• 探测器: ⑴X'Celerator超能探测器, 微型探测器数量超过100个
⑵正比探测器
• 光路：聚焦光路用于块材料，平行光用于表面相分析
• 样品台：多功能样品台应用于各种形状和较大尺寸成品试样；高温样品温度变化（室温—1200℃） |
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