测试项目：有机物分析
所用仪器：傅立叶红外光谱仪
测试范围：反映材料的化学键信息，特别是有机物的官能团鉴定，液体的成分分析
主要性能指标：
• 光谱范围：7,500~375cm-1
• 红外分辨率：优于0.09cm-1
• 信噪比：45,000:1
测试项目：表面成分及化学态分析
所用仪器：X射线光电子能谱仪+俄歇能谱仪 (XPS)
测试范围：各种固体表面的元素成分、化学价态、分子结构分析和深度剖析
主要技术指标：
• XPS灵敏度：16,000,000 cps
• XPS能量分辨率：<0.48eV
• XPS*小分析面积：30μm
• AES灵敏度：500,000 cps
• AES能量分辨率：<0.4 dE/E
测试项目：样品成分分析
所用仪器：扫描电子显微镜+X射线能谱仪 (SEM+EDS)
测试范围：各种固体材料的形貌分析、微区化学成分检测，样品成份的线分布和面分布分析
主要性能指标：
• 分辨率：高真空模式3.0nm, 低真空模式4.0nm
• 放大率：×8～×300000
• *大样品尺寸：125×100×80mm
• 能谱能量分辨率：129.45eV
• 可测元素范围：铍Be~锿Es |
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