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现在由美国ICAN告诉你微尺度效应对气体轴承的影响：
与宏观旋转机械相似,气体轴承在微型旋转机械中也发挥着巨大的作用,两者之间的差异比较,动力MEMS的相继开发,对微型轴承提出了超高速运转的要求,根据轴承知识得气体轴承将会替代干摩擦轴承和电磁轴承成为主要研究热点。化学性质稳定、精度高、寿命长,能在各种工况下工作等特点,微型气体轴承的SEM图像。由于气体轴承无需其它介质润滑,摩擦阻力小且转速较高,实用性引人注目,在MEMS其它研究领域也取得广泛的应用,包括有芯片实验室应用的微泵,微驱动器的微齿轮组装结构。
随着尺度变小,MEMS气体轴承的动力特性也相应地变化。尺度变小给气体轴承的设计、加工制造都带来问题:小深宽比使得轴承的承载能力降低,且气体轴承为不可压缩性,现代微加工工艺的最小可蚀刻气隙限制了直径的缩小,以防止轴承出现动态不稳性,同时由于体-表面积比值增大,轴承的相对承载能力随着尺度的减小而增大。ICAN等采用新的分析方法对轴向流气体径向轴承模型进行模拟,得出超短静压气体径向轴承动力学的尺度律,主要包含有静压刚度、动压刚度、自然频率、阻尼比和涡动比,并就尺度律进行了实验验证,结果表明:自然频率和阻尼比的实验测量值和理论分析较为一致
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