HORIBA SEC-8440F 8450高温质量流量控制器

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公　司：上海市首荣工业设备有限公司

发布时间：2018年09月28日

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详细说明

质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量，但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响，如需精确测量，需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量，是利用测量气体的质量，而质量是不受外界的环境的影响，从而可以提供高精度流量检测和控制，且在半导体制造制程有广泛的使用。
特征
它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。
1.适用于高温：可满足150℃烘焙
2.产品阵容中有可满足使用温度的产品型号
3.超清洁类型：接气部全不锈钢构造
4.最适于MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制
規格
SEC-8340SL 搭载有主体加温加热器

气体接触部材质 SUS-316L
阀门类型 NO: 非通电时：开
标准流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范围 2〜100％ F.S.(满量程)
流量精度 ±1.0％ F.S.(满量程)  使用温度：80〜100℃
SEC-8340SM 本体加温ヒータ搭載

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