等离子设备原理及功能简介
真空等离子清洗器采用电感耦合式工作原理，利用真空泵达到一定的真空值后，在电感的作用下，形成了活性很高的等离子体，由此产生的等离子体可以达到表面改性清洗处理的效果。
1．等离子表面活化/清洗； 2.等离子处理后粘合;
3. 等离子蚀刻/活化; 4. 等离子去胶;
5. 等离子涂镀(亲水,疏水); 6. 增强邦定性；
7.等离子涂覆； 8.等离子灰化和表面改性等场合。
通过其处理，能够改善材料表面的浸润能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。
产品介绍
名称 中型立式真空等离子机
型号 XT-PL60MA
外形尺寸（W×H×D） 1150mm×880mm×1600mm
反应腔尺寸（W×H×D） 400×400×450mm
真空腔体材料 进口316不锈钢
真空泵 进口4L/S
角阀 北仪 超真空40KF
流量控制器及显示仪 sevenstar 0-800ml/min
真空显示规管及读取器 Pirani
射频电源 美国品牌 40KHZ、100KHZ 13.56MHZ 、2.45GHZ
PLC系统 三菱（包括PLC，A/D模组两组，D/A模块两组，温度模块）
电气系统 施耐德
变频器 西门子2KW
触摸屏 台湾威纶真彩10.7寸
陶瓷封装 进口高频陶瓷
处理气体 O2、Ar2、N2，H2、CF4
等离子清洗机，英文叫（Plasma Cleaner）又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机，等离子表面处理机,电浆清洗机，plasma清洗机，等离子去胶机，等离子清洗设备。适合各种基片、粉体或颗粒状材料的等离子表面改性处理，包括：等离子清洗、活化、刻蚀、沉积、接枝与聚合等。
真空等离子表面处理设备简介
XT系列低温等离子表面处理设备-低压(真空)等离子清洗机由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将工作室进行抽真空达到0.02-0.03mbar 的真空度，再在高频发生器作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态）。高频发生器提供能量使气体电离成等离子态。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。
等离子表面处理设备产品特点
1.环保技术：等离子体作用过程是气- 固相干式反应 ,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。
2.广适性：不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能 |
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