FiberCouple 130平台
1同一条导轨上两个运动平台
2独立或并列运动
32.5nm分辨率
4非接触直线电机驱动
5交钥匙的配套驱动和控制系统
6适合辅助轴
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VascuLathe ACS/ASR
1.直线平台与旋转平台的高度集成化
2.ER筒夹系统使材料箝位自动化
3.可选夹紧装置夹紧管
4先进的控制系统结构
5.单或双主轴结构
6.可选择湿切割
7.拥有两项专利PatentNo.7,038,334PatentNo.7,105,956
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LaserTurn
1.直线平台与旋转平台的高度集成化
2.气动3爪卡盘或ER筒夹
3.较大的通孔可以使产品通过
4.可选择在前后加工的平台
5.直接驱动直线和旋转电机技术
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PlanarHD气浮平台
1*大2m/s扫描速度和5g加速度的输出
2*快的转向和*小的稳定时间
3主动偏转控制
4直线光栅或激光干涉仪反馈
5行程1.2mx1.2m
行程≤1200mm
精度±300nm
重复定位精度±50nm
分辨率0.25nm
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APT 系列平转和倾斜组合转台
1满足安全，国防建设和监测全球市场的需要
2把先进的高精密机械与业界领先的控制技术结合在一起
3惯性稳定
4包含内置滑环，可连续旋转360°
5高定位精度和速度性能
6易于安装和系统集成的集成电路
7低维护，高可靠性提供*低的拥有成本
平转：*高速度180°/秒，持续360°
倾斜：*高速度180°/秒，范围为±95°
位置分辨率：7.6弧秒
定位精度：120弧秒
有效载荷：35公斤
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