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6寸晶圆烘箱 6寸晶圆烘箱//6寸晶圆烘箱

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公 司: 上海恒黔电子科技有限公司 
发布时间:2024年06月06日
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邮  编: 201611
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公 司:上海恒黔电子科技有限公司

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详细说明

    型号

HOC-1 800W-OF (单腔体)

规格尺寸

内尺寸

800*640*960(W*D*H)mm

外尺寸

1460*970*1800(W*D*H)mm

温度范围

RT~250℃

均匀性

±2℃ Noloading

加热功率

Electric Kantal 15 KW

温度控制器

1. Micro Processor P.I.D Digtal Control
Program 30 paten ×99 Segment
Model:Program controller UP55A (YOKOKAWA) RS-485,232

2. PLC触屏程序控制器

热电偶

TC-K型

循环风机

Sircocco Fan 180mm

报警装置

超温报警、缺氮气报警、风机故障报警、结束报警、加热器报警等

电机

220V/380V-50/60HZ-3P-180W

附件

流量计(L/MIN 200×2)

隔板

3层

安装要求

电 220V/380V-50HZ/60HZ-3P

水 2-5kg/c㎡
压缩空气 1-5kg/c㎡

氮气 1-5kg/c㎡


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