影像連接功能 全自動(XY 自動控制+ 自動對焦)量測*4
自動調整、自動範本分析*4
載物台 XY 載物台移動量 184 × 88 mm(電動)
Z 載物台移動量 90 mm(電動)
旋轉角 ±180°（試料旋轉載物台）
傾斜角 ±30° 以上
動作距離 75 mm
影像擷取元件 1 型400 萬畫素黑白CMOS
投光鏡頭 雙重遠心鏡頭 ×2
受光鏡頭 雙重遠心鏡頭
照明系統 觀察用光源 環形 LED 照明(紅、綠、藍)
量測用光源 白光 LED
影像尺寸 1024×768 畫素、2048×1536 畫素
資料處理部份 KEYENCE 指定專用PC(OS 為 WINOOWs7)*5
額定 電源電壓 100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz
耗電量 150 VA
環境抗耐性 環境溫度 +15 至 +30 °C
相對濕度 35 至 80 % RH (無凝結)
重量 28.0 kg
*1 以焦點位置為中心，低倍率端 ±5 mm，高倍率端側 ±0.5 mm 的範圍 
*2 量測高度時的解析度
*3 使用 KEYENCE 規定的基準規，以 KEYENCE 規定的量測模式進行量測時的數值(環境溫度 23 ±1°C)
*4 需要影像連接模組(VR-H2J)
*5 WINOOWs7 Professional 以及 Ultimat |
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