溅射靶材
我们通过将熔化技术，烧结技术，合成技术以及加工技术进行技术融合，可以对各种素材，纯度以及形状的产品进行处理。
金属靶材
高纯度金属 Al, Co, Cu, Fe, Mg, Mn, Sn
高熔点金属合金 Cr,Mo,Nb,Ta,Ti,V,W系列的合金
非磁性合金 Al, Bi, Cu, Mg, Sn, Zn系列的合金/ Bi2Te3, Mg2Si
磁性合金 Co, Fe, Ni系列的合金/ Co-Fe-B, Co-Pt, Fe-Pt
赫斯勒合金 Co, Fe, Ni基赫斯勒合金
Mn系列的合金 Mn-Al, Mn-Bi, Mn-Ga, Mn-Ir, Mn-Si
贵金属合金 Au,Ag,Pt,Pd系列的合金
无机化合物靶材
氧化物 Al2O3,MgO,SiO2,TiO2,ZnO,La2O3，ITO,PZT,STO,LiCoO2,Li4Ti5O12,Li3PO4
碳化物 SiC,B4C,WC
其他化合物 氮化物，氟化物，磷化物，硫化物，硒化物
复合靶材
金属相 Co-Cr-Pt, Fe, Fe-Ni, Fe-Pt等各种纯金属・合金
非金属相 Al2O3, MgO, SiO2等各种氧化物・氮化物
标准尺寸一览
圆球形 直径 φ50.8、φ76.2、φ101.6、φ127、φ152.4、φ203.2、 φ254、φ304.8、φ355.6、φ406.4、φ508、φ533.4
矩形 平面尺寸 127×304.8、127×381、127×508、127×558.8、152.4×508
厚度 ｔ3、ｔ5、ｔ6.35
高纯度材料
我们秉持着「高纯度材料是技术革新的源泉」的信念，对各种高纯度材料进行开发及生产。
Al ～6N Mn ～4N
Co ～4N5 Sn ～5N
Cu ～6N Ti ～5N
In ～5N Zn ～5N
Mg ～4N5 其他各种合金（Co-Fe-B等）
高纯度Mg
我们秉持着「高纯度材料是技术革新的源泉」的信念，对各种高纯度材料进行开发及生产。我们确立了Mg的高纯度化技术，并使用其对溅射靶材进行生产及供应。 |
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