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RCA清洗设备 RCA清洗设备//RCA清洗设备

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公 司: 江苏英思特半导体科技有限公司 
发布时间:2021年07月29日
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陈经理 先生 (销售经理)
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电  话: 0513-87291816
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手  机: 18012437416
地  址: 中国江苏如皋市如皋市城南街道新源北路8号11号厂房
邮  编: 226500
公司主页: http://insist9527.qy6.com.cn(加入收藏)
公 司:江苏英思特半导体科技有限公司

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详细说明

    主体构造特点
主体:设备为半敞开式,主体使用进口 WPP15 和 10mm 厚板材,结构设计充分考虑长期工作在酸腐蚀环境,坚固耐用,双层防漏,机台底盘采用德国产瓷白 PP板,热焊接 而成,可长期工作在酸碱腐蚀环境中.

骨 架:钢骨架+PP 德国劳施领板组合而成,防止外壳锈蚀.

安全门:前侧下开透明安全门,脚踏控制.

工艺槽:模组化设计,腐蚀槽、纯水冲洗槽放置在一个统一的承漏底盘中.底盘采用满焊接工艺加工而成,杜绝机台的渗漏危险.

管路系统:位于设备下部,所有工艺槽、管路、阀门部分均有清晰的标签注明;药液管路采用 PFA 管,纯水管路采用白色 NPP 喷淋管,化学腐蚀槽废液、冲洗废水通过专用 管道排放.

电气保护:电器控制、气路控制和工艺槽控制部份在机台顶部电控区,电气元件有充分的防护以免酸雾腐蚀以保障设备性能运行稳定可靠;所有可能与酸雾接触的电气及线路 均经 PFA 防腐隔绝处理,电气柜 CDA/N2 充气保护其中的电器控制元件.

排 风:后部排风和下沉式设计,风量可调节,对操作员有安全保护.

送风:设备顶部有 FFU 百级净化送风装置,设备沿前侧板镶嵌入墙体,保证后上部送风

水汽枪:机台前部配备有 PTFE 纯水枪和 PTFE 氮气枪各 1 只置于右侧,方便操作员手工清洗槽体或工件.

控制系統
PLC可程式控制器(欧姆龙)+PROFACE 彩色人机界面操作。
模块化软件、硬件设计,减少故障几率,便于安装和维护;
空气开关、断路器、电磁阀、按钮、氮气调压阀,针阀、三色警灯等均采用SMC、施耐德、和泉、松下、正泰等电气产品,安全可靠;
配备漏电断路保护、隔离变压器、漏液检测、EMO开关等安全保护装置;
所有程序参数可修改,操作模式可分为自动/手动,加液和花篮传递为手动;
电路区功能分块,强电、弱电块,便于维护;
电气控制部分均有清晰的标签注明
具密码保护功能以避免操作人员误改参数:
Password-1.启动及可进入自动模式內容。
Password-2可进入手动模式。
Password-3可进入编辑模式修改制程参数。


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