溅射台 SME-200

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溅射台 SME-200

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公　司：青岛泰斯迈仪器设备有限公司

发布时间：2021年09月22日

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张女士女士 (商务)

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电　　话： 0532-82021500 传　　真：手　　机： 17685756785 地　　址：中国山东青岛市山东省青岛市市北区兴隆路167号邮　　编：
公司主页：	http://tesmysemi.qy6.com.cn(加入收藏)

详细说明

产品简介：
它是一种多室型溅射装置，可以配备多个处理室（*多3个腔室200E，*多5个腔室200J和*多7个腔室200）

产品特性：
• 可运输Φ200mm板
• 作为处理室的各种模块的阵容
• 介电模块
• 高温成膜模块
• 精密分配模块
• 蚀刻模块

产品应用：
• 电子零件
• 微机电系统
• 动力装置
• 发光二极管

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