溅射台CS-200

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溅射台CS-200

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公　司：青岛泰斯迈仪器设备有限公司

发布时间：2021年09月22日

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张女士女士 (商务)

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电　　话： 0532-82021500 传　　真：手　　机： 17685756785 地　　址：中国山东青岛市山东省青岛市市北区兴隆路167号邮　　编：
公司主页：	http://tesmysemi.qy6.com.cn(加入收藏)

详细说明

产品特性：
• 通过利用常规过程数据和专有技术重新设计了易用性
• 通过在负载锁定室中安装暗盒机构（可选）来提高生产率
• zui大基板传送尺寸为Φ300mm（在中心Φ200mm处保证了厚度分布）。
• 支持堆叠/同时溅射多个阴极
• 通过触摸屏和配方输入自动处理，节省了人工
• 可以记录数据

产品应用：
• 电极成膜/多层电极及同时成膜应用
• 形成狄登膜，绝缘膜，钝化膜，保护膜等
• 用于电子零件和小规模生产的研发

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