离子注入机 IH-860DSIC

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离子注入机 IH-860DSIC

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公　司：青岛泰斯迈仪器设备有限公司

发布时间：2021年09月22日

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张女士女士 (商务)

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电　　话： 0532-82021500 传　　真：手　　机： 17685756785 地　　址：中国山东青岛市山东省青岛市市北区兴隆路167号邮　　编：
公司主页：	http://tesmysemi.qy6.com.cn(加入收藏)

详细说明

特长
·可以自动连续高温处理注入

·1价离子可注入350keV，2价离子可注入700keV（可选择1价离子可注入430keV，2价离子可支持860keV）

·在双端站实现高吞吐量（A系4“高温ESC/B系3”高温ESC、A系6“高温ESC/B系6”常温ESC等，可根据客户的要求构建规格）

·可以进行链条注入，减轻操作员的负荷

·小型设计

·从试作到量产可以广泛对应

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