国内厂家销售半导体行业用高纯电子级正硅酸四乙酯TEOS

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公　司：深圳市旺达康科技有限公司

发布时间：2021年11月29日

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详细说明

电子级正硅酸四乙酯TEOS
名称正硅酸四乙酯(TEOS)
化学式 C8H20O4Si
相对分子量 208.33
CAS号 78-10-4
理化性质无色透明液体，熔点－77℃，沸点168.5℃，密度0.9346g/ml。在空气中较稳定；微溶于水，在纯水中水解缓慢；在酸或碱的存在下能加速水解作用。
主要用途
主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积（CVD）制程，用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。

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