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国内厂家销售半导体行业用电子级六甲基二硅氮烷HMDS 国内厂家销售半导体行业用电子级六甲基二硅氮烷HMDS//国内厂家销售半导体行业用电子级六甲基二硅氮烷HMDS

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公 司: 深圳市旺达康科技有限公司 
发布时间:2021年11月29日
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公 司:深圳市旺达康科技有限公司

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    电子级六甲基二硅氮烷HMDS
别名:六甲基二硅氮烷;六甲基二硅烷胺;六甲基二硅亚胺六甲基二硅氮烷
无色透明液体。易水解,放出NH3,生成六甲基二硅醚。在催化剂存在下,与醇或酚反应,生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。与无水氯化氢反应,放出NH3或NH4Cl,生成三甲基氯硅烷。可由三甲基氯硅烷与NH3反应来制取。
中文名:六甲基二硅氮烷
英文名:Hexamethyldisilazane
分子式:C6H19NSi2
分子量:161.39
CAS号:999-97-3
EINECS号:213-668-5
用途:
主要用于晶圆制造过程中光致刻蚀剂的粘结助剂。


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