Aerotech ABL1000气浮平台

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Aerotech ABL1000气浮平台//Aerotech ABL1000气浮平台

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公　司：苏州高控科技有限公司

发布时间：2022年04月30日

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详细说明

Aerotech ABL1000气浮平台
1专为高性能校准和装配应用设计
2分辨率达2nm的直线编码器反馈
3闭环分辨率可达0.5nm(使用A3200控制器)
4全预加负载气浮导轨(空气轴承)
5低噪音线性放大器
6全部非接触设计
行程≤150mm
精度±0.20um
重复定位精度±0.05um
直线度±0.25um
平面度±0.25um

ABL10025-25 mm (1 in) travel stage with linear motor
ABL10050-50 mm (2 in) travel stage with linear motor
ABL10100-100 mm (4 in) travel stage with linear motor
ABL10150-150 mm (6 in) travel stage with linear motor

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