Aerotech ABL2000气浮平台

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Aerotech ABL2000气浮平台//Aerotech ABL2000气浮平台

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公　司：苏州高控科技有限公司

发布时间：2022年04月30日

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电　　话： 018612885992 传　　真：手　　机： 18612885992 地　　址：中国江苏苏州市苏州市吴中区郭巷街道蓝文化创意大厦邮　　编：
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详细说明

Aerotech ABL2000气浮平台
1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计
2运动超平滑,速度稳定性突出
3直线编码器或激光干涉仪反馈
4行程达1.2米
5全预加负载气浮导轨(空气轴承)
6全部非接触设计
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.25um
平面度±0.25um

ABL20010 ABL20020 ABL20030 ABL20040 ABL20050 ABL20075 ABL20100 ABL20120

全预紧式空气轴承
超平滑运动设计获得显著的速度稳定性
行程达1.2米
直线编码器反馈或激光干涉仪反馈
标准产品性能：

行程 ≤1200 mm
定位精度 ±0.50 μm
重复定位精度 ±.20 μm
直线度 ±0.25 μm
平面度 ±0.25 μm

z图片/Product_439.jpg ABL2000 平台性能指标
◆ 全预装空气轴承
◆ 行程1.2米
◆ 线性编码器或激光干涉仪反馈
◆ 完整的非接触式设计
◆ 超平滑设计，速度
稳定性*佳

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