苏州宏信
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本研究以活性溅镀法沉积氧化钯(PdO)奈米片薄膜,探讨PdO对一氧化碳(CO)气体感测的电性响应.此奈米片薄膜比表面积大,呈现巨大的开放空间,可提供许多气体分子之吸附位;薄片的厚度极薄,当气体分子於氧化钯奈米片表面有吸脱附之作用时,表面载子空乏层厚度变化所占比例大,进而导电率变化较为灵敏.气体感测实验显示,於不同感测温度下,PdO薄膜对於CO感测具有不同之电性变化与感测机制.感测温度小於100°C时,薄膜电性变化主要来自於CO与预吸附於PdO上之氧分子离子进行反应或置换;感测温度150°C时,CO还原PdO生成Pd,而造成电性变化有震荡现象;感测温度高於200°C时,CO会与预吸附之氧分子离子及PdO之氧原子反应并达动态平衡,使得电流值变化可达饱和 |
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