测试项目:
1:形貌、能谱点扫、能谱线扫、能谱面扫(mapping)
2:仪器放大倍数范围是100倍-20W倍,常规样品可以拍摄到8-10W倍,导电性不好或磁性样品大于8W倍可能会不清晰。
3:能谱:SEM能谱一般只能测C(含C)以后的元素,(B元素也能做,但是不准,不建议做)如果需要打能谱,需要备注好测试位置以及能谱打哪些元素,需要注意的是制样时待测元素不能与基底成分有重合,如果要测C元素,样品不要分散到含C的基底上,可以分散到硅片,锡纸上,如果要测Si元素,注意不要制样到硅片上。
注意事项:
(1)要求样品无毒、无放射性、干燥无污染、热稳定性好、耐电子束轰击。保证测试人员安全;
(2)样品必须干燥,不含水分或有机挥发物;
(3)样品必须具有稳定的化学性质和物理性质,在高能电子束的辐照下保持成分稳定和形态不变;
(4)样品观察面应清洁,无污染物,同时观察面应尽量平整;
(5)样品必须具有良好的导电性和导热性,在电子束轰击下不易被分解,热稳定性高;
(6)磁性样品要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响;
(7)样品可以是粉末、薄膜、块体,无论是表面还是新断开的断口或断面,一般不需要进行处理,以保持其原始的结构状态。
样品量的要求:
粉末、液体、薄膜、块体均可测试,粉体样品大概10mg,块体样品要求长宽≤25px,厚度≤25px,样品质量不超过200g;混凝土,珊瑚沙,气凝胶等需要抽真空时间非常长的样品尺寸请尽可能直径≤5mm,厚度≤5mm;
(8)块体:直接用导电胶粘在样品台上测试,若需拍块体/薄膜截面,需明确截面制备方法,一般可以提供剪刀裁剪和液氮脆断两种方式;薄膜或块状标记好要测试的面(正面和反面),制样方式有特殊需求请说明 |
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