科研设备科研仪器设备科研专用加热设备晨立专业设计定制

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公　司：青岛晨立电子有限公司

发布时间：2024年10月23日

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姜经理先生 (销售)

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电　　话： 0532-88533525 传　　真： 0532-67720618 手　　机： 13869885308 地　　址：中国山东即墨市山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼邮　　编： 266200
公司主页：	http://chenlidianzi.qy6.com.cn(加入收藏)

详细说明

科研炉是半导体加工中的典型热处理设备，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

主要技术参数：
◆工艺管数量：1-4管
◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆工作温度范围：400～1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）

◆结构型式：卧式热壁型
◆气体流量设定精度:±1％F.S
◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
◆超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）噪音：≤62dB（A）震动：≤3μm
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
◆控制方式：工业微机控制

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