13.56MHz自动匹配器

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13.56MHz自动匹配器

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公　司：天津吉兆源科技有限公司

发布时间：2024年10月18日

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电　　话： 18610611799 传　　真：手　　机： 18526680128 地　　址：中国天津东丽区天津市滨海新区滨海科技园日新道196号研发楼D2一层邮　　编：
公司主页：	http://gmpower2024.qy6.com.cn(加入收藏)

详细说明

产品性能

匹配器系统采用高速匹配算法，当接近匹配点时，这种高速匹配算法会逐渐的减缓系统的速度，即使在“Q”值很高时也很容易找到匹配点。匹配器可以很快的将输入阻抗调整为50Ω，调整的准确性和可靠性可以很快的响应负载特性变化。

应用对象
该自动匹配器主要应用对象包括：刻蚀、ICP、光学镀膜、等离子清洗、等离子体增强、感应加热及PECVD等系统。

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