MKS-VAC100 真空等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
2.2 产品优势
产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品。
水平电极设计，可满足软性产品处理需求。
低耗能、耗气产品。
便捷的收放板方式。
真空系统集成，占地面积小。
合理的等离子反应空间，使处理更均匀。
集成的控制系统设计，使操作更方便。
2.3 产品结构
真空等离子体表面处理系统主要包括三个部分：真空腔及真空系统，等离子体发生器，控制系统。
（A）真空腔及真空发生系统
真空腔固定于机柜框架内，左右两侧为可拆门，因此内部的真空腔及真空系统的维修是极方便的。真空发生系统由波纹管、KF接头、真空泵以及油雾过滤器组成，核心部件真空泵（真空泵组）。
（B）等离子体发生器
等离子体发生器在20Pa-100Pa间给电极板施加电压，产生低温等离子体。利用高频转换技术形成高频电压加到电极板上，当真空腔内达到一定真空度时，产生等离子体放电现象，放电后电路会自动调节电压到适当值，保证电路正常稳定放电。
（C）控制系统
本系统使用MCGS触摸屏、西门子PLC、中文界面。设备的工艺流程控制：真空泵启动->挡板阀开启->达到设定的真空度->通入工艺气体->RF放电->工作时间到破真空->工作完成。设备分自动和手动两种方式。
2.4 产品规格
真空等离子主机
设备尺寸 L900×W1500×H1750mm
重量 500Kg
需求电源 AC380V，50/60Hz，5线，25A（总空开选型为C型以上）
等离子发生器规格
电源功率 射频 中频
0~600W 0-1000W
电源频率 13.56MHz 40 KHz
真空系统
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石英晶体、压电元件
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