二、产品介绍
2.1 产品概述
MKS-VAC200 真空等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
2.2 产品优势
产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品。
水平电极设计，可满足软性产品处理需求。
低耗能、耗气产品。
便捷的收放板方式。
真空系统集成，占地面积小。
合理的等离子反应空间，使处理更均匀。
集成的控制系统设计，使操作更方便。
2.4 产品规格
真空等离子主机
设备尺寸 1300x1350x1900mm
重量 500Kg 800KG
需求电源 AC380V，50/60Hz，5线，25A（总空开选型为C型以上）
等离子发生器规格
电源功率 射频 中频
0~1000W 0-2000W
电源频率 13.56MHz 40 KHz
真空系统
真空泵 鲍斯双级旋片泵（油泵）：90m3/h+罗次泵
真空管路 全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管
材质 铝合金
厚度 25mm
密封性 军工级焊接密封
腔体内部尺寸 600×600×600mm（宽×高×深）
电极板有效尺寸 550×560mm（宽×深）
可用空间间距 28mm
电极板布置方式 水平电极板
工作托盘 标配一套，材质可选配(铝材、钢丝网）
工作空间 9层 9层
工艺气体
流量范围 0~300SCCM
工艺气体气路 标配两路，可定制。工艺气体管路为铁氟龙材质
控制系统
系统控制 PLC
交互方式 7寸触控屏幕 |
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石英晶体、压电元件
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