氢气还原炉

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氢气还原炉

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公　司：青岛福润德微电子设备有限公司

发布时间：2024年10月24日

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详细说明

氢气还原炉主要用于电力电子器件、热敏电阻、可控硅模块、陶瓷金属化等在氢气气氛保护下进行还原、退火、合金等工艺，也可以进行氧化工艺。
技术指标：
工作温度：200—1300 ℃
加热元件：康泰尔丝
保温材料：高纯纤维制品
炉管材料：石英管、刚玉管
控制方式：PlD控制，参数自整定
加热区：根据工艺要求
报警保护：超温、水压、停气等声光报警保护
控制精度：±1℃
控制气氛：根据工艺要求
出口工件温度：≤65℃

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