高纯材料提纯设备

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高纯材料提纯设备

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公　司：青岛福润德微电子设备有限公司

发布时间：2024年10月24日

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电　　话： 13668894181 传　　真： 0532-68017157 手　　机： 13668894181 在线联系：地　　址：中国山东青岛市城阳区北万工业园6号邮　　编：
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详细说明

高纯材料提纯设备主要满足高纯砷等新材料制造行业，对材料进行气氛保护下的烧结、升华、还原、精馏等工艺。
主要性能指标：
外型形式：卧式结构，水平炉管
工作温度：200℃—1100℃
恒温区长度：根据工艺要求
仪表控温精度：千分之三高精度
可通工艺气体：氮气、氧气、氢气、氩气等
气体控制方式：MFC或浮子流量计控制
报警系统：气体压力异常报警、断电报警、超温报警、极限超温报警
控制方式：程序控制或工控机+触摸屏控制
产品特点：
采用国内独有的开合式设计方式；
工艺降温速度快；
生产效率高；
设备维护简便。

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