PECVD设备厂家直销

手机站

易网站

企业名录

您当前位置是：产品大全 >> 电子元器件 >> 集成电路(IC)

PECVD设备厂家直销

PECVD设备厂家直销//PECVD设备厂家直销

浏览大图

公　司：青岛福润德微电子设备有限公司

发布时间：2024年10月24日

留言询价

加为商友

联系信息

企业信息

徐鲁阳女士 (客服)

联系时，请说是在企业录看到的，谢谢！

电　　话： 13668894181 传　　真： 0532-68017157 手　　机： 13668894181 地　　址：中国山东青岛市城阳区北万工业园6号邮　　编：
公司主页：	http://xuluyang123.qy6.com.cn(加入收藏)

详细说明

满足半导体集成电路，电力电子器件，光电子等行业用于在硅片上淀积Si O2、Si 3N4、Poly-Si、磷硅玻璃、硼硅玻璃、非晶硅及难熔金属硅化物等多种薄膜工艺。CVD系统性能特点：
结构形式：1—4管卧式热壁型
硅片规格：2—8英寸硅片(或125×125mm、156×156mm方片)
温度范围：300～1100℃
恒温区长度及精度：200mm—1000mm(±1℃／24h)
淀积薄膜均匀性： 片内±5％      片间±5％      批间±5％
沉积膜厚度：600～15000A
系统极限真空度：优于1Pa
工作压力范围：20～133Pa闭环控制
控制方式：工业微机
送料装置：悬臂推拉舟、软着陆系统
淀积薄膜分类：Si 3N4、Si02、PSG、Pply-Si膜
真空泵：罗茨泵、机械泵
工艺气路：5路气／管。VCR接口
40KFIz脉宽调制AE高频电源
装片量：200片／舟

免责声明：以上所展示的信息由会员自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责，www.qy6.com对此不承担任何责任。如有侵犯您的权益，请来信通知删除。

该公司其他产品信息

1 2 直接到第页

共 50 条信息，当前显示第 1 - 30 条，共 2 页

1 2 3 4 5 6 7 ..

联系人：徐鲁阳电话：13668894181