井式真空炉

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井式真空炉

井式真空炉//井式真空炉

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公　司：青岛福润德微电子设备有限公司

发布时间：2024年10月24日

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详细说明

井式/立式真空炉主要用于半导体器件烧结、封焊，太阳能电池片烘干、焊接及金属化管壳等气密性封装，玻璃容器的烧结及各种零件在氢氮保护下进行的工艺。
井式真空炉主要技术参数 
真空室工位数：1-3位
真空度：1Pa，加扩散泵为5x10-3Pa
工作温度：<1000℃
充气的*高压强：0.3Mpa（可控）
不锈钢内胆：Φ150-Φ350x1300mm(用户自定)
恒温区：600-1200mm±1℃
控温方式：三点三段采用原装进口高精度控温仪
控温曲线：9段升降温/999小时
工作方式：自动或手动自由转换
单点精度：±1℃/24h
正压、负压均采用数字显示表
可多工位同时工作

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