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氢气还原炉
氢气还原炉//氢气还原炉
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青岛福润德微电子设备有限公司
发布时间:2024年10月24日
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青岛福润德微电子设备有限公司
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详细说明
氢气还原炉主要用于电力电子器件、热敏电阻、可控硅模块、陶瓷金属化等在氢气气氛保护下进行还原、退火、合金等工艺,也可以进行氧化工艺。
技术指标:
工作温度:200—1300 ℃
加热元件:康泰尔丝
保温材料:高纯纤维制品
炉管材料:石英管、刚玉管
控制方式:PlD控制,参数自整定
加热区:根据工艺要求
报警保护:超温、水压、停气等声光报警保护
控制精度:±1℃
控制气氛:根据工艺要求
出口工件温度:≤65℃
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