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高纯材料提纯设备
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青岛福润德微电子设备有限公司
发布时间:2024年10月24日
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徐鲁阳
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中国山东青岛市城阳区北万工业园6号
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青岛福润德微电子设备有限公司
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详细说明
高纯材料提纯设备主要满足高纯砷等新材料制造行业,对材料进行气氛保护下的烧结、升华、还原、精馏等工艺。
主要性能指标:
外型形式:卧式结构,水平炉管
工作温度:200℃—1100℃
恒温区长度:根据工艺要求
仪表控温精度:千分之三高精度
可通工艺气体:氮气、氧气、氢气、氩气等
气体控制方式:MFC或浮子流量计控制
报警系统:气体压力异常报警、断电报警、超温报警、极限超温报警
控制方式:程序控制或工控机+触摸屏控制
产品特点:
采用国内独有的开合式设计方式;
工艺降温速度快;
生产效率高;
设备维护简便。
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