一.概述
质量流量控制器 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。TS170采用热式测量原理，直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件，并采用哈氏合金传感器，用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用，TS170也同样适用。
二.使用范围
它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。
其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
三.产品特点
●直接热式原理，无层流元件
●无压损,抗结晶,抗腐蚀
●适用于各种低压和高压管道
●精确测量和控制气体的质量流量
●预热时间短,零漂小，可靠性高
●多种气体可选,也可自行输入
四.技术参数
1 量程范围 （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500）SCCM(ml/min)
（0~1,2,3,5,10） SLM(L/min)
2 准确度 +1.5%F.S
3 线性 +0.5~1.5%F.S
4 重复精度 +0.2%F.S
5 响应时间 电特性：10sec 气特性：（1~4）sec
6 工作压差 （0.1~0.5）MPa
7 耐压 3MPa
8 工作环境温度 0~70℃
9 数字量 RS485 MODBUS协议
10 模拟量 DC 0~5V ，4~20mA 可选
11 供电 DC +15V/24V 可选，流量计＜50mA，控制器＜200mA
12 电气连接 DB15
13 漏率 1×10¬-8SCCSHe
14 底座材质 316L不锈钢
15 密封材质 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶
16 气路街头 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
注意:
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N₂)标定.
质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分)
标准状态规定为： 温度-----273.15K (0℃);
气压-----101325 Pa （760mm Hg）
F.S (Full Scale); 满量程值 |
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