一、仪器用途
TBM-600 半导体检测仪是检测双极型晶体管的基区宽度，半导体晶片的直径、平整度、光洁度、表面污染、伤痕等，刻蚀图形的线条长、宽、直径间距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑必不可少的仪器。配备大视野目镜与偏光观察装置，透反射照明采用“柯勒”照明系统，视场清晰。可用于半导体硅晶片、LCD基板、电路板、固体粉未及其它各种透明或不透明工业试样的检验，是生物学、金属学、矿物学、精密工程学、电子工程学等研究的理想仪器,广泛应用在工厂、实验室和教学及科研等领域。
二、产品特点
采用无限远光学系统及模块化功能设计。长工作距离明，视场大而清晰。广角平场目镜：视场直径Ф22mm。粗微动同轴调焦机构，粗动松紧可调，带限位锁紧装置，微动格值:2μm。内置式可切换偏光观察装置，起偏器可360°旋转。上光源采用翻盖式12V50W卤素灯箱，更换灯炮安全便捷，下光源采用12V/30W卤素灯，加装散热片。三目镜筒可自由切换目视观察与显微摄影，摄影时可100%通光。
三、技术参数
1.目镜
类型 放大倍数 视场(mm)
平场目镜 10X φ18
2.物镜
类别 放大倍数 孔径数值 工作距离(mm)
无限远长距平场消色差物镜 5X 0.12 9.7
10X 0.25 9.3
20X 0.40 7.2
40X 0.60 3.0
3.光学放大倍数：50X 100X 200X 400X
4.三目镜,倾斜30?,(内置检偏振片,可进行切换)
5.双层机械移动式(尺寸:210mmX140mm,移动范围:75mmX50mm)
6.粗微动同轴调焦, 微动格值:2μm,带锁紧和限位装置
7.照明系统：落射 6V 20W 卤素灯,亮度可调,带视场光栏、孔径光栏、起偏振片
透射 6V 20W 卤素灯,亮度可调,内置视场光栏, 蓝滤色片和磨砂玻璃
8.阿贝聚光镜NA.1.25可上下升降
9.滤色片：(黄,蓝,绿,磨砂)
四、系统组成
(TBM-600):1.显微镜 2.适配镜 3.摄像器(CCD) 4.A/D(图像采集)
五、总放大参考倍数
TBM-600型：50—3500倍
六、选购件
1.目镜: 10X分划 2.物镜:50X 60X 80X 3.二维测量软件
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