GPC-102 A等离子清洗机技术特征：
 紧凑型台式等离子清洗设备，无射频辐射危害，通过CE/EMC、CE/LVD、ROHS及FCC VOC认证。
 射频（RF）功率无极调节，可根据应用需要自由设置。
 等离子清洗机整体适配与惰性气体如大气、氩气、氮气，活性气体氧气、氦气、氢气或混合气体等工艺气体使用。
 适用于超净间，无需配备其它附件即可使用。
 全套工艺气体管路采用特氟龙（teflon）材质及美国Swagelok高质316不锈钢阀门。
高配机型GPC-102 （替代 Harrick PDC-32G-2及PDC-FMG-2 PlasmaFlo、EQ-PDC-32G等离子清洗机）等离子清洗机规格：
等离子清洗机真空反应舱尺寸：内径4.0英寸（102毫米），7.9英寸（200毫米） 深
等离子清洗机真空反应舱材质：纯石英 （99.99%二氧化硅）
等离子清洗机输入功率：150W（*大）
等离子清洗机工作频率：13.56MHz
等离子清洗机射频功率：0W~30W 功率旋钮连续调节
等离子清洗机重量：16公斤（约）
等离子清洗机尺寸：12.3英寸（312毫米）高x 30英寸（762毫米）宽x 12.4英寸（315毫米）深
等离子清洗机真空计：热偶式、数码显示、实时监控真空反应舱内压力。
等离子清洗机流量气体混合计：配备气体流量控制系统，可以精密控制工艺气体喂入及混合。
等离子清洗机配套托盘：纯石英材质 规格 |
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