叶转换红外线光谱分析仪(FTIR)检测
FTIR提供关于化学键和分子结构的详细信息，使它有益于有机材料和某些无机材料的分析。化学键以特有的频率振动，当接触到红外线辐射时，它们以与振动模式相匹配的频率吸收红外线。作为频率的函数测量辐射吸收得到用于识别官能团和化合物的光谱。
FTIR应用：
 污染物分析中识别有机化合物的分子结构
 识别有机颗粒、粉末、薄膜及液体（材料识别）
 量化硅中氧和氢以及氮化硅晶圆中的氢 （Si-H vs. N-H）
 污染物分析（析取、除过气的产品，残余物）
FRIR分析优点：
 能识别有机官能团，通常是具体的有机化合物
 具有识别化合物的丰富光谱库
 测试环境非真空，可测试易挥发物质
 典型的非破坏性
 最小分析面积~15 微米
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FRIR分析局限性：
 有限的表面灵敏度（一般取样量~0.8 μm ）
 最小分析面积~15 微米
 有限的无机物信息
 一般非定量（需要标准） |
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