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PCB行业—卷对卷式PLASMA |
简要描述:一.等离子简介: PLASMA等离子清洗(又称电浆),起源于20****初期,随着高科技的发展,现大量应用在电路板钻孔后孔内清洁工序,传统的湿法高锰酸钾除胶渣工艺因有液体张力等原因,在现有电路板小孔,密孔,肓孔(BlindVia)等产品加工后常有残留胶渣(smear)。
等离子介绍:
PLASMA等离子清洗(又称电浆),起源于20****初期,随着高科技的发展,现大量应用在电路板钻孔后孔内清洁工序,传统的湿法高锰酸钾除胶渣工艺因有液体张力等原因,在现有电路板小孔,密孔,肓孔(Blind Via)等产品加工后常有残留胶渣(smear)。所以以等离子清洁的干式制程受到瞩目。
二.电浆(以下统称电浆)产生方式:
能产生电浆的方式很多,以下是几种高密度电浆的产生方式: 1.感应耦合式电浆产生法(ICP)
感应耦合式电浆工作原理,线圈上加一高频电源,当线圈电流发生变化时,由安培定律H = J + 0(E/t)知,可产生变动磁场,同时由法拉第定律E = - 0(H/t)知此变动之磁场会感应一反方向电场,并加速电子与线圈电流相反的二次电流。下图为电浆实际工作中的照片。
2.中空阴极电浆产生法(HCP)
3.电子回旋共振电浆产生法(ECR)
二.电浆(以下统称电浆)产生方式:
能产生电浆的方式很多,以下是几种高密度电浆的产生方式: 1.感应耦合式电浆产生法(ICP)
感应耦合式电浆工作原理,如下图,线圈上加一高频电源,当线圈电流发生变化时,由安培定律H = J + 0(E/t)知,可产生变动磁场,同时由法拉第定律E = - 0(H/t)知此变动之磁场会感应一反方向电场,并加速电子与线圈电流相反的二次电流。下图为电浆实际工作中的照片。
2.中空阴极电浆产生法(HCP)
3.电子回旋共振电浆产生法(ECR)
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