质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量,但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响,如需精确测量,需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量,是利用测量气体的质量,而质量是不受外界的环境的影响,从而可以提供高精度流量检测和控制,且在半导体制造制程有广泛的使用。
特征
它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。
1.适用于高温:可满足150℃烘焙
2.产品阵容中有可满足使用温度的产品型号
3.超清洁类型:接气部全不锈钢构造
4.最适于MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制
規格
SEC-8340SL 搭载有主体加温加热器
气体接触部材质 SUS-316L
阀门类型 NO: 非通电时:开
标准流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范围 2〜100% F.S.(满量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:80〜100℃
SEC-8340SM 本体加温ヒータ搭載 |