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产品目录
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气体质量流量计/控制器
MT-500型气体动态配气仪
详细说明
功能 气体动态配气仪
基本型号 MT系列
配比范围 按需求定制
配气不确定度(%) ±1 F.S
控制阀动作形式 长闭式
被稀释气体 C02 ,NO,S02,CO,H2S,02,CH4等各种带酸性,碱性气体.
配气通道 二通道,三通道,四通道等,*高可达十几种气体配比
载气 空气,氮气,氩气等气体
配气流量 5SCCM-30SLM范围可选,或更高
线性(%F.S) ±0.5
重复精度(%F.S) ±0.2
响应时间(sec) ≤1
设备输出信号 RS232或RS485
电器接头 DB15pin DB14pin DB9pin 接头
工作环境 5-55(℃)
工作压差 0.05-0.5MPA
漏率 1X10-7SCCMHe
*大耐压 3MPA
介质接触材质 304 316 316L
密封材料 氟橡胶,硅橡胶,丁晴橡胶,聚四氟乙烯,金属密封性
接头尺寸 Swagelok 1/8 , 1/4 ,3/8,或φ3,φ6,φ8 φ10 φ12
电源要求 220V, 2
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