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东莞市普诺克真空科技有限公司
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先生 (销售经理) |
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手 机：13622664458  |
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| 半导体设备专用罗茨真空泵 |
东莞市普诺克真空科技公司拥有一支集研发、生产、销售、售后为一体的强大队伍，优质的半导体设备专用罗茨真空泵产品、专业的真空知识、在真空系统建造方面的丰富经验以及快速的服务，为客户提供理想、完善的真空解决方案并赢得了高度赞誉，需要了解更多罗茨真空泵信息的朋友请登录。
罗茨真空泵产品特点：
1.马达多样性
每一台普诺克罗茨真空泵的马达都可采用风冷或水冷，以保证客户的正常使用
泵整体采用铝合金或铸铁材料，实现泵散热快、耐腐蚀性强等优点
2.结构简单 维护方便
转子型线通过精心设计产用圆弧转子方式使泵的设计更加紧凑
抽气效果更加突出，相比同级别其它厂家抽速有很大提高
维护起来也很方便，维护费用非常低
3.高清洁真空
罗茨泵泵腔内没有任何能与空气发生化学反应的介质
确保被抽气体不受二次污染,实现高清洁真空
4.万能泵 助力泵
罗茨泵也称助力泵，可以与螺杆泵、放片泵、水环泵、滑阀泵
分子泵等泵组成泵组，大大提高抽气速率和真空度
正常情况下可以高10倍以上的真空度！
半导体设备专用罗茨真空泵产品参数：
型号：PNK MR 0600T
额定流量（50Hz）：600 m3/h
抽气速率：166.7 l/s
极限压力：≤0.05 Pa
*大允许压差：≥1.2x104 mbar（≥1200000 Pa）
马达频率：50 Hz
马达额定功率：3 Kw
连接口进气口：ISO100
连接口排气口：ISO80
转数（50HZ）：2900 PRM
重量：198 Kg
推荐前级泵：PNK SP 0100
半导体设备专用罗茨真空泵前级泵选择：
罗茨真空泵不能单独使用，必须配上前级泵组成机组，使用前级真空泵是为了降低罗茨真空泵的排出压力，由于罗茨真空泵的压缩比是有限的，所以选择前级真空泵的抽速是重要的，罗茨真空泵的*大压缩比是随排出压力而变化的，在高排出压力下，*大压缩比*多大3：1，而高压缩比是在排出压力为1到10mbar之间（1 mbar=0.75Torr）可达50:1，甚至更高些。
因此，选择前级泵的抽速，要根据罗茨真空泵的长期工作压力范围考虑。
例如有一系统用罗茨真空泵机组抽气，要求在1 mbar入口压力时有600升/秒的抽速，并长期工作，问应选择多大抽速的前级泵。
先假定用30升/秒的前级泵时，压缩比K=600： 30=20得出K=20时*大排出压力为30 mbar。
由此得出，当选用30升/秒前级泵时，在入口压力低于1.5 mbar以下工作是可行的，但高于1.5 mbar入口压力工作时就选用大一些前级泵了。该例中，工作真空度1 mbar低于1.5 mbar，所以30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的抽气要求。
另外应当考虑的是，对预抽时间的要求问题，如果正常工作时间远比预抽时间长，可选 |
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