晶体管清洗用超纯水设备_系统供应商哪家好 超纯水设备采用先进的反渗透膜法水处理技术和成熟的离子交换水处理技术,是目前制取高纯水工艺流程中不可替代的手段。超纯水设备广泛应用于太阳能光伏行业、半导体行业、电镀厂行业、化工行业、锂电池行业、制药厂行业等大型制造型行业。
晶圆用超纯水设备的工艺流程:
1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:原水→沙碳过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式,其基本工艺流程为:原水→沙碳过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
3、采用反渗透水处理设备与电去离子(edi)设备进行搭配的方式,这是一种制取超纯水的新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→沙碳过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子(edi)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
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