Simco-Ion 5810i 悬挂型离子风机,设计配合关键环境的要求,拥有业界领先的离子平衡控制性能;取得ISO Class 4 洁净房内使用的认证,在洁净环境下,提供优越的效能。采用专用的稳态直流电离技术,能消除 ESD 和所引起的电磁干扰,在先进生产设施内,也可提供离子输出。能外接感应器,随环境调整离子输出,以达至和维持 少于 ±1 V 的离子平衡。
5810i 选用 Silicon Free 空气轴承风扇,每个风扇的其他部分和外壳,都是密封和经过清洁处理,完全符合现今洁净房的生产环境,兼容关键洁净的制程。如使用的离子风机,不符合洁净标准,会有污染制程的风险,降低良率。
5810i 离子风机可利用 AC 输出接口串联其他的 5810i离子风机共同工作,多可串联十台。
特点
±3 V 或更好的离子平衡 (配合选配的外接回馈系统能达至±1 V)
选配的外接感应器,设备监控接口,报警和控制管理
选配的自动清洁系统
优点
在电晕放电技术的静电防护中,提供保护和产出
提供瞬时报警通知,和避免擅自调整效能和风速
自动清洁静电针组,减少维护时间和成本
±1V 操作
5810i 离子风机的选配外接感应器, 可接连Novx Process Monitor 7000 系列,Novx 被动检测系统 3352 系列,和Novx 主动检测系统3362 系列,作出检测和自动调整离子平衡。把天线放到目标位置, 信号会回馈到 5810i的控制线路,以达到和维持离子平衡在±1 V或更好的效能。 |