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型号
D07-26C
D07-7B
D07-19B
D07-9E
D07-60B
CS200A
CS200D
类型
普通型
普通经济型
精度型
普通大流量型
大流量型
高精度型,数字型
高精度型 ,全金属密封型,
产品精度
±1.5％F.S.
±1.5％F.S.
±1％F.S.(20slm
30slm ±2％F.S.)
±2％F.S.
±2％F.S.
±0.35％F.S.(＜35% F.S.)
±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
±0.35％F.S.(＜35% F.S.)
±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
线性
±1％F.S.
±1％F.S.
±0.5% F.S.
±1％F.S.
±1％F.S.
±0.5% F.S.
±0.5% F.S.
重复精度
±0.2% FS
±0.2% FS
±0.2% FS
±0.2% FS
±0.2% FS
±0.2% FS
±0.2% FS
量程范围
20sccm-10slm
5sccm,- 10slm
5sccm-30slm
20slm,--,250slm
300slm-2000slm
5sccm,---- 50slm
2sccm,---30slm
工作压力范围
(0.1～0.5) MPa
(0.1～0.5) MPa
(0.1～0.3) MPa,
(0.1～0.5) MPa
(0.05～0.30) MPa（20slm ≤F.S.≤30slm）
(0.15～0.30) MPa（200slm ≤F.S.≤250slm）
(0.25～0.5) MPa （F.S.≤1000slm）
(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,
,(0.2～0.45) MPa（30slm＜F.S.）
(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）
,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）
该气体配比器可以外接两种或 |
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