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南京中炼能源有限公司
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四氟化碳四氟甲烷R14制冷剂生产厂家 |
四氟化碳,又名四氟甲烷,化学式为CF4,它既可以被视为一种卤代烃(有机物),也可以被视为一种无机化合物,常温常压下为无色气体,不溶于水,溶于苯和氯仿,主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。
基本信息
化学式:CF4
分子量:88.004
CAS号:75-73-0
EINECS号:200-896-5
理化性质
熔点:-184℃
沸点:-130℃
临界温度:-45.5℃
临界压力:3.74MPa
折射率:1.113(-53oC)
饱和蒸气压:13.33kPa(-150.7℃)
外观:无色气体
溶解性:不溶于水,溶于苯和氯仿
用途
主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。
储存方法
储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。 |
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