VARIAN瓦里安 安捷伦真空计控制器XGS600
XGS600复合真空计的特点:
 操作简单
 可以控制12路真空规管
 满足各种搭配(高低真空、冷热离子规管)
 响应时间快
 操作安全
 模拟输出、满足各种自动控制要求
 可根据要求扩容
 1/2 标准控制柜安装尺寸
 RS232/485通讯接口、1/0接口
VARIAN瓦里安 安捷伦真空计控制器
XGS600真空计的技术参数:
电源 90-250 V AC,50/60 Hz, 单相, 可切换开关,120 watts
工作范围 TC:  2 Torr-10-3 Torr;              ConvecTorr: 760 Torr-10-6 Torr;  
CDG: 760 Torr-10-6 Torr;      B/A: 10-2 Torr-10-10 Torr; 
UHV: 10-3 Torr-10-12 Torr;    IMG: 10-3 Torr-10-11 Torr
工作温度 0-50 ℃
模拟输出 UHV, 连续B/A, B/A, 冷阴极: 1V/ decade
TC, ConvecTorr, CDG: 0-10 VDC
脱气 E-射线(UHV), 电阻加热
设置点/ 远程l/0 设置点主板:SPDT继电器, 额定功率120VAC, 3amps
远程l/0主板:SPST输出继电器, 额定功率, 24V DC/120V AC, 0.5 amps, 
                        光隔离远程通道
尺寸(mm) 外箱: 8(2 |