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供应深圳美信扫描探针显微镜/原子力显微镜(AFM)检测

详细说明

    供应深圳美信扫描探针显微镜/原子力显微镜(AFM)检测

扫描探针显微镜,俗称原子力显微镜(AFM),提供原子或接近原子分辨率的表面图形,是测定埃尺度表面粗糙样本的理想技术。除显示表面图像, AFM还可以提供特征尺寸定量测量, 例如步进高度测量;其他样本特性,如为确定载体和掺杂剂的分布和测量电容。

AFM应用:

 三维表面结构图像,包含表面粗糙度、微粒尺寸、步进高度、倾斜度

 加工前后晶圆上(二氧化硅、砷化镓、锗化硅等)评估

 测定接触镜片、导管、支架和其他生物医药表面的加工效果(如等离子处理)

 测定表面粗糙度对粘合和其他工艺的影响

 测定有图案晶圆的沟壁形状/洁净度

 测定形态/结构是否为表面几何形状的来源



AFM应用优点:

 量化表面粗糙程度

 高空间辨析率

 导体和绝缘体样品的成像

AFM应用局限性:

 扫描范围限制:横坐标100微米,Z轴5微米

 样品的潜在问题是太粗糙、样品形状古怪

 针头可能引起的误差

 
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