精 密 测 量 显 微 镜
FM-CL100C
一、精密测量显微镜——用途
精密测量显微镜是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业开发的。作为高级金相显微镜使用，可用来鉴别和分析各种金属和合金的组织结构，可广泛应用在工厂或实验室进行铸件质量的鉴定、原材料的检验或对材料处理后金相组织的研究分析等工作。
二、主要技术参数
目 镜 类 别 放 大 倍 数 目视场直径（毫米）
超宽视场平场目镜 10倍 Φ26
0.1mm十字分划目镜 10倍 Φ22
物镜 类 别 放大倍数 数值孔径（NA） 系 统 工作距离（毫米）
95mm平场无限远长工作距离复消色差
5倍 0.15
干 44
10倍 0.30 34
20倍 0.35 29
50倍 0.50 17
显微镜的总放大倍率 物 镜 目 镜 镜筒系数 总放大倍数
5X
10X
1X 50X
10X 100X
20X 200X
50X 500X
名 称 参 数 名 称 参 数
光学系统 无限远光学系统 调焦方式 电动调焦
观察头 三目正像（带有0.3XCCD适配镜） 仪器基座 大理石
镜筒透镜 焦距f=250毫米 显示装置 调零、方向转换、数据输出、TTL讯号
偏光装置 检偏镜可360°旋转。起偏镜和检偏镜均可移出光路
照明方式 落射照明（12V50W卤素灯），下照明（5WLED）
载物台 XY行程200mm×200mm。测量方式：计量光栅。分辨率：0.001mm浮动的功能： X和Y轴快速移动功能
选购件 1、300万像素、500万像素、800万像素、1000万像素COMOS。
2、二维测量软件
3、物镜：2X、100X
4、显微光谱仪 |
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