供应超（高）纯氢气净化器

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供应超（高）纯氢气净化器

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公　司：北京北氧特气工程技术有限公司

发布时间：2020年09月27日

有效期：2021年03月29日

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黄先生先生 (经理)

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公司主页：	http://beiyangfuqi.qy6.com.cn(加入收藏)

详细说明

氢气是硅外延淀积的硅源、掺杂源及携带气体，也是淀积过程中的还原气体，同时还广泛应用于超大规格集成电路制造、航天燃料电池制造、配制某些混合气的底气和实验室仪器用载气。上述这些环节对氢气纯度要求很高，要求氢气纯度达到6N以上甚至更高。
本装置结构紧凑，体积较小，纯化效果好，能耗低，催化剂可长期使用,无需再生处理，吸附剂在装置内再生循环使用。超高纯氢气在电子工业部门,用作氢气还原制取半导体超纯材料锗和硅,及用在半导体器件和集成电路的外延工序中及载气和燃烧用气。
原料氢气来源：电解水氢、瓶装氢气
处理气量：0.5-3000m3/h
氢气纯度：99.999-99.9999999%

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