仪器特性：◆该系统配备一款通用型落射照明器，它可以满足各种观察需求，如
明场、暗场、简易偏光、DIC以及落射荧光，根据工件或观察目的，
可以选购高亮度12V-50W卤素灯光源和白色LED光源；
◆这是一个基于一个不仅能测量长度，还能通过目镜的观察来检查表
面的处理状态或其它要素的显微镜的高附加值系统；
◆带有闪烁控制的新光学系统可在大视野范围内产生清晰的正像（2X
与常规产品相比，减少了80%的闪烁）；◆在一台显微镜中集成了金相显微镜和测量显微镜的功能，能提供高
分辨率观察和高精度测量；
◆在立柱两侧标准配Z轴粗/微调手柄，可进行精确调焦和观察测量；
◆可选配视像装置等多种选件，使标准测量显微镜更具魅力。
应用：半导体封装、焊接贴片、环路高度、FPD面板(LCM)、MEMS、晶片级CSP、硬盘滑行磁头。
技术参数：仪器型号 QI-U400 QI-U800 MM-U400 MM-U800
X Y测量行程 4*4 8*4 8*6 12*8 4*4 8*4 8*6 12*8
Z轴调焦 150mm 150mm 150mm 150mm
载重量 15Kg 15Kg 15Kg 15Kg
分辩率 0.001/0.0005/0.0001mm
测量精度 (2.5+L/200)um，L=测量长度（单位：mm）
镜头 三目镜筒：目镜带十字线物镜10X 四孔物镜转换器：5X、10X
放大倍率（选配） 光学放大倍率0.7-4.5X，影像放大倍率19－180X
影像系统（选配） 高解析度台湾敏通1/2″彩色CCD摄像头/高解析度日本WATEC 1/2″彩色CCD摄像头
重复性 2um
操作方式 手动
外形尺寸 1000*600*1400mm 1200*720*1600mm 1000*600*1400mm 1200*720*1600mm
机身重量 100kg 120kg 100kg 120kg
工作台底座 工作台铸铁采用天然失效处理，配合瑞士进口SCHNEEBERGER导轨
*大工件高度 170mm
轮廓照明 LED DIA Illuminator (LED底部光源)
表面照明 LV-HL50W 12V50W-LL Halogen Lamp(卤素灯泡) / 环形LED照明
电源 TE-PS100W Power supply (100-240v)电源 |
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