直接影响臭氧系统化学反应过程的因素包括：         
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1、 影响臭氧浓度和产率的因素：
空气（富氧空气或氧气）的湿度、温度、流量、压力、发生器功率等条件都含导致臭氧浓度和产率的变化
2、 臭氧氧化难降解有机物的反映途经：
其一、臭氧通过亲核或亲电作用直接参加反应。具有直接氧化有机物、反应较慢、有选择性、有直接氧化产物产生特征。
其二、臭氧在碱性环境等因素作用下，通过活泼自由基主要是·OH-与污染物反应，具有氧化有机物速度快、无选择性、间接氧化产物特点。因为OH是臭氧基型链反应的引发剂：反映式为：O3+OH-
3、时间对臭氧氧化反应的影响：
实验表明，通常接触时间在臭氧浓度≥40mg/L时，为5～10分钟为宜。时间过短、反应不彻底、给后续工艺带来负担，时间过长，如超过15分钟，反应过头出现色度加深现象且影响水处理效率。因此，应选择合适的反应时间。
4、臭氧投放量对氧化反应的影响：
臭氧投放量对污染物去除有着重要的作用，在污染物浓度一定时，通常是臭氧投放量越大，去除效率越高，去除率增加，对于该有机废水臭氧化*佳调试数据2.8～4.2mg臭氧/mg污染物。因此，处理难降解有机污染、高浓度和大产率都需要，高浓度和小产率显然不适，低浓度和小产率更不适。
5、PH值对臭氧氧化反应的影响：
  （1）臭氧本身氧化能力强弱与PH值有关，臭氧分子中的氧原子本身具有强亲电子或质子特征，直接表现出强氧化性能。臭氧在水中的分解速度随PH值提高而加快。如果PH提高一个单位，臭氧分解大约会快三倍，从而产生更多的·OH，可见碱性条件下对产生强氧化性的·OH多么重要！
（2）废水中有机物物理、化学性质与PH值有密切关系。
（3）臭氧吸收率与PH值有一定的关系，通常认为碱性条件吸收要优于酸性条件。
（4）PH值在全部臭氧氧化过程中的变化主要表现在中性（PH=7）或碱性（PH＞7）条件下，PH值随氧化过程进行呈下降趋势，其原因是有机物氧化成小分子有机酸醛类物质。因此，要加强臭氧氧化反应，应不断进行PH值调节偏碱进行。
6、臭氧氧化特征的碱性环境形成条件：
臭氧氧化的溶液中：臭氧、臭氧+H2O2、臭氧+紫外线、臭氧+H2O2+紫外线几种方式都可成为碱性化环境，针对不同难降解有机物特点可选择工艺不同方式。
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