RTP快速退火炉主要技术参数
1
项 目
主要技术指标
数据
2
规格型号
CHY-T1100X-RTP
3
温度控制
温度点
1200℃
4
额定温度
1100℃
5
稳定状态温度范围
100～1000℃
6
温度测量精度
±0.2℃
7
温度控制重复性
±1℃
8
温度控制精确度
±1℃
9
温场均匀性
±2℃
10
温度状态工艺时间（S）
2～100（100～1000℃）
11
最快升温速率
500℃/S
12
降温速率（℃/S）
1～200（通氮气，速率更快）
13
温度控制模式
智能模糊全闭环控制
14
软件功能
操控系统
NBD-101智能系统
15
用户界面
中英文互换
16
工艺菜单编辑
触屏式图像操作界面
17
扩充端口
可扩充真空测控和FFC供气
18
看门狗
系统进入死循环时关闭主控制器
19
热电偶校准状态检测
软件校准，方便准确，软件分析传感器状态是否正常
20
超高温状态检测
软件检测出温度信息出现高温异常时，切断主回路
21
触摸屏尺寸
7"LCD
22
物理指标
功率
15kw
23
额定电压
AC380～400V，50Hz（60Hz定制）
24
传感器类型
S型单铂铑
25
反应腔室内径尺寸
Φ100X200mm
26
式样有效空间
3.5"
27
真空度
4.3×10-3Pa(外配分子泵）
28
抽气端口尺寸
KF16（或Φ8mm宝塔嘴）
29
供气口尺寸
Φ6.35mm双卡套
30
冷却方式
自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气：2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2)
31
外形净尺寸（mm）
长920×深500×高560
32
重量
净重65kg |
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